非接触移動度測定 LEI-1610シリーズ

2インチから最大 8インチまでの

・Si ウェーハ
・化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）
・epi ウエハを非接触・非破壊でキャリア移動度
・シート抵抗
・シートチャージ密度の測定が可能です。

※旧リハイトン社（Lehighton Electronics, Inc.）の装置です。

特徴とシステム仕様：

• • マイクロ波および磁界の巧みな制御・処理により、
    2インチから6インチウェーハの移動度を非破壊で測定可能。
  • 電極形成が不要であり、
    量産されているウエハを誰にでも簡単に再現性の良い測定が可能。
  • キャリア移動度: ~100 – 20,000 cm2/v.sec 　(*1605AMは~600 – 20,000 cm2/v.sec)
  • キャリア密度: ~1E11 – 6E14 carriers/cm2
  • シート抵抗: ~100 – 3,000 ohm/sq
  • 磁界制御とソフトウェア処理により、キャップ層がついたままの状態での測定も可能。