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LEI-1510シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗が可能です。

FAaST350は、デュアルFOUPタイプのインライン非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。

FAaST330/230は、4～12インチ対応の全自動非接触CV測定装置です。DSPVにより、金属汚染測定も可能です。

FAaST300-SLは、4～8インチ対応の2ポートタイプ非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。

FAaST 310/210は、マニュアルタイプの非接触CV測定装置です。50mm～300mmまでのウェハーの測定が可能です。

MCV-530は、マニュアルタイプの水銀CV測定装置です。50mm～300mmのウェハーサイズに対応しています。

MCV-2200/2500は、全自動の水銀CV測定装置です。3～12インチのウェハーの測定が可能です。

FAaST 350 DSPVは、デュアルFOUPタイプの全自動SPV装置です。非接触で、金属汚染を高精度で測定します。

FAaST 330/230 DSPVは、4～12インチウェハー対応の非接触金属汚染検査装置です。オプションの非接触CV測定ヘッドも搭載可能です。

FAaST 310/210 SPVは、マニュアルタイプの金属汚染検査装置です。オプションで、非接触CV測定ヘッドを搭載可能です。

シリコン基板、化合物半導体、エピ膜の結晶欠陥を非接触・非破壊で高解像度でモニターする検査装置です。フォトルミネッセンスにより、ウェハーのBMD、転位欠陥、パーティクル、堆積物、積層欠陥を高精度で検出します。深さ方向の応力起因転位欠陥の検証に有効です。

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