FAaST 300-SL
FAaST 300 SLシステムは、最新式で非接触の電気メトロロジーシステムであり、Semilab SDIの特許取得済みのマイクロとマクロの両方のコロナ-ケルビン法を単一プラットフォームに統合しており、最先端研究開発や厳しい大量生産環境をサポートできます。
特徴とシステム仕様:
- ロボットによる自動ウェハーハンドリング
- デュアルFOUPロードポート:単一ロードポートまたはVersaportを備えたオプション構成
- パターン付きウェハー(マイクロ)とモニターウェハー(マクロ)の測定に有効
- ケルビンプローブフォース顕微鏡(KFM)に基づくSemilab SDIの特許取得済み高分解能(10µm)マイクロコロナ-ケルビン法で、スクライブラインテスト部位(40µm×40µmまで)と活性デバイス領域の誘電体と界面の特性を測定
- KFMによるフルウェハーマクロ表面電圧イメージングと、焦点を絞った高分解能ダイ内表面電圧イメージングを組み合わせた、高度な2ステップ不可視欠陥(NVD)検査
- 次のような誘電体特性の部位の自動プログラミングまたは等高線マッピング:
- 誘電体キャパシタンス(CD)と厚さ(EOT)
- 誘電体リーク電流(IV)
- フラットバンド電圧(Vfb)
- 界面トラップ密度(Dit)
- 界面トラップ電荷(Qit)
- 半導体表面バリア(Vsb)
- 酸化物総電荷(Qtot)
- 可動イオン電荷(Qm)、など
- FAaSTソフトウェアパッケージ:測定、レシピ記述、データ表示アプリケーションなど
- 適した測定対象:高k/低k誘電体フィルム(SiO2、SiNx、Al2O3、HfO2、混合された誘電体、積層誘電体フィルムなど)を持つ半導体(Si、SiGe、InGaAs、SiC、GaNなど)
- 初期構成は300mmウェハー用で、200mm/300mmブリッジ構成もオプションでご用意
- ラインコンディショナーにより、柔軟な対応が可能
- Semilab SDIの他のFAaST装置の測定法を用いた構成に対応
- 追加オプション:ミニエンバイロメント、300mm SEMI準拠の自動化、耐震用ブラケット、ウェハーOCR/RFID/カセットバーコードリーダー、1000V Vcpd測定範囲