SE-2100
分光エリプソメータSE-2100は、ラボ用装置であるSE-2000に安全カバーと高スピードサンプルステージを加えた研究開発用の分光エリプソメーターです。
安全カバーが付いた仕様のため、セキュリティーが厳しい製造工程でもご使用頂けます。有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適です。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。 プリンテッドエレクトロニクス、光学&電気メトロロジー、薄膜コーティング特性評価、層厚管理などにご使用頂けます。
特徴とシステム仕様：
- 回転補償子型 分光エリプソメーター
- 波長範囲：最大193nm～2500nm
- 350×450mmまでの矩形サンプルまたは300mmまでのウェハーを高速かつ正確に測定可能
- 特別設計のチャックで軟質サンプルを保持
- アクティブ振動減衰
- 高分解能マッピングステージ
- オムロン製高速自動フォーカスモジュール
- サンプル可視化&パターン認識用垂直カメラ
- ジョイスティックでサンプルを簡単に移動
- CE & SEMI規格準拠
コンポーネント&オプション：
- 分光エリプソメーター：
- 高速取得を金属箔上で直接実行
- 測定スポットをプラスチック基板用に調整
- 分光反射率計：
- 膜の反射率と透過率用
- 非接触シート抵抗測定：
- 渦電流による高速で正確なシート抵抗測定
- 透明電極&金属用
- ラマン、ライフタイムなどの他の測定法
アプリケーション：
- ディスプレイ：TFT、OLED（ガラスまたは軟質基板上）
- 照明：新型OLED照明アプリケーション。白色OLED
- プリンテッドエレクトロニクス：軟質基板（トランジスタ、センサーなど）上のあらゆるプロセス
- 太陽電池：小型薄膜PVパネル、TCOパネル
