薄膜測定      薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ

薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ

概要

分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、安全カバーが付いた仕様のため、セキュリティーが厳しい製造工程でもご使用頂けます。有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適です。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。

 【測定可能な物理特性】

 -膜厚 (単層膜、多層膜)
 -光学特性(屈折率、消衰特性)
 -シート抵抗

分光エリプソメーター 仕様

最大測定波長範囲:193~2000nm以上
サンプルサイズ:1インチ ~ 450mm x 450mm

アプリケーション

-半導体
-フラットパネル・ディスプレイ
-有機EL
-太陽電池
-その他のフィルム

オプション類

-FTIR
-マイクロスポット
-コンペンセーター
-透過率測定
-ラマン分光
-ライフタイム測定
-LBIC測定

薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ