外観検査
外観検査技術は、2つの主な技術と装置を組み合わせています。
分光エリプソメーター・コア内の高解像度画像処理システムと、2D-3Dラインスキャンカメラを用いて、
欠陥検出や表面特性の寸法測定を行っています。
このプラットフォームは、印刷方式PV（有機、ペロブスカイト）アプリケーション向けに開発されました。
線形視野の例
この装置は、広域（300×300ミリメートル）の軟質プラスチック基板またはガラス基板を、
最高精度で検査・測定するよう設計されています。
新型プラットフォームで非接触・全自動の欠陥検出と特定を行います。
さらに、OPVの複雑なプロセス用に最適化された高度なメトロロジー機能を備えており、
単層と多層の構造を分析できます。
結果はセミラボ製ソフトウェアを使って評価できます。
特徴
- ・非接触・非破壊の測定法
- ・印刷方式の材料と構造の品質を正確に特定
- ・単層&多層構造の分析
- ・大型の基板に対応
- ・ロールツーロールのインライン管理機能
製品ラインナップ
