外観検査

外観検査技術では、2つの主な技術と装置を組み合わせています。すなわち、分光エリプソメーターとコア内システムの高解像度画像処理システムと、2D-3Dラインスキャンカメラを用いて、欠陥検出や、各種の表面特性の寸法測定を行っています。このプラットフォームは、印刷方式PV（有機、ペロブスカイト）アプリケーション向けに特別に開発されました。

この装置は、広域（300×300ミリメートル）の軟質プラスチック基板またはガラス基板を最高精度で検査・測定するよう設計されており、新型プラットフォームで非接触・全自動の欠陥検出と特定を行います。さらに、OPVの複雑なプロセス用に最適化された高度なメトロロジー機能を備えており、単層と多層の構造を分析できます。

結果はセミラボ製ソフトウェアを使って評価できます。

特徴

非接触・非破壊の測定法
印刷方式の材料と構造の品質を正確に特定
単層&多層構造の分析

大型の基板に対応
ロールツーロールのインライン管理機能

製品ラインナップ

SE

SEシリーズの独自のモジュール式光学プラットフォームには、分光エリプソメーターと回転補償子光学系が含まれています。このシステムは高いモジュール性と汎用性を誇り、単純な単層厚さから、より難しいアプリケーション（たとえばミュラーマトリクスを用いてポラリメトリー、スキャトロメトリー、エリプソメトリーを組み合わせたアプリケーションなど）までのニーズに応えます。また、独自の独立したアーム角度選択や小型スポットサイズを装備しています。