外観検査

 

外観検査技術では、2つの主な技術と装置を組み合わせています。すなわち、分光エリプソメーターとコア内システムの高解像度画像処理システムと、2D-3Dラインスキャンカメラを用いて、欠陥検出や、各種の表面特性の寸法測定を行っています。このプラットフォームは、印刷方式PV(有機、ペロブスカイト)アプリケーション向けに特別に開発されました。

外観検査

線形視野の例 線形視野の例

この装置は、広域(300×300ミリメートル)の軟質プラスチック基板またはガラス基板を最高精度で検査・測定するよう設計されており、新型プラットフォームで非接触・全自動の欠陥検出と特定を行います。さらに、OPVの複雑なプロセス用に最適化された高度なメトロロジー機能を備えており、単層と多層の構造を分析できます。

結果はセミラボ製ソフトウェアを使って評価できます。

外観検査

 

特徴

  • 非接触・非破壊の測定法
  • 印刷方式の材料と構造の品質を正確に特定
  • 単層&多層構造の分析
  • 大型の基板に対応
  • ロールツーロールのインライン管理機能
製品ラインナップ
SE

SE

SEシリーズの独自のモジュール式光学プラットフォームには、分光エリプソメーターと回転補償子光学系が含まれています。このシステムは高いモジュール性と汎用性を誇り、単純な単層厚さから、より難しいアプリケーション(たとえばミュラーマトリクスを用いてポラリメトリー、スキャトロメトリー、エリプソメトリーを組み合わせたアプリケーションなど)までのニーズに応えます。また、独自の独立したアーム角度選択や小型スポットサイズを装備しています。

お問い合わせ

ご質問・ご相談はこちら

TEL 045-620-7960

日本セミラボ株式会社株式会社

〒222-0033
神奈川県横浜市港北区新横浜2-15-10
YS新横浜ビル6階
TEL: 045-620-7960(代表) FAX: 045-476-2146

セミラボグループ
セミラボグループロゴ
Semilab AMSロゴ
Semilab QC ロゴ
Semilab SDI ロゴ
Semilab Sopra ロゴ
Semilab SSM ロゴ