製品情報

AC ホール効果測定装置　PDL-1000

ホール効果測定装置 PDLシステムは、ACモード・DCモードの両方のホール効果測定に対応しています。DCモードに比べて、ACフィールド測定では、キャリア移動度0.03 cm2/Vs以上の測定が可能です。

様々な材料の測定にも使用いただけます。

非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ

LEI-1510シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗が可能です。

SCI 1-6

太陽電池のインライン製造プロセス管理にご使用頂いています。シリコン単結晶、多結晶の太陽電池セルの色測定を非接触・非破壊で行います。

エミッタ―シート抵抗測定装置 CMS, CLS

太陽電池のインライン製造プロセス管理にご使用頂いています。渦電流法（Eddy Current）により、シリコン単結晶、多結晶のシート抵抗を非接触・非破壊でモニターします。

ウェハー形状測定装置 TTR-300

太陽電池のインライン製造プロセス管理にご使用頂いています。シリコン単結晶、多結晶の膜厚と抵抗率を非接触・非破壊でモニターします。

膜厚＆抵抗率測定装置 WMT, WLT

太陽電池のインライン製造プロセス管理にご使用頂いています。シリコン単結晶、多結晶の膜厚と抵抗率を非接触・非破壊でモニターします。

ライフタイム測定装置 WML

太陽電池のインライン製造プロセス管理にご使用頂いています。uPCDキャリアライフタイム測定によりシリコン単結晶、多結晶の汚染を非接触でモニターします。

フォトルミネッセンス PLI-101/A, PLI-103/A

太陽電池のインライン製造プロセス管理にご使用頂いています。フォトルミネッセンスによりシリコン単結晶、多結晶の結晶欠陥を非接触でモニターします。