ライフタイム測定装置 WML

WxL

WML

キャリア・ライフタイムは、PVアプリケーションにおいて、シリコンウェハーに対する主要な品質管理パラメータです。WMLモデル(WML-1、WML-3)のライフタイム測定装置では、搬送用ベルトを止めることなくウェハーを測定(「On the Fly」測定)することが可能です。したがって、ウェハーやセルの全自動製造ラインにおけるインライン品質管理の要件を満たす高スループットを実現します。

WLL

高速・非接触の材料特性評価とプロセス管理

キャリア・ライフタイムは、PVアプリケーションにおいて、シリコンウェハーに対する主要な品質管理パラメータです。WLLモデル(WLL-1、WLL-3、WLL-5)のインラインライフタイム測定装置では、1、3、または5ポイントのライフタイムを、全自動のウェハー製造ラインにおけるインライン品質管理の要件を満たす高スループットで測定できます。

  • 測定法:µ-PCD
  • サンプルサイズ:100~210mm
  • 測定位置:調整可能
  • 搬送用ベルト上のプローブ高さ:4mm
  • サンプル支持部:ベルト上
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