膜厚&抵抗率測定装置 WMT, WLT

WMT、WLT

高速・非接触で厚さ、TTV、抵抗率を評価。

厚さと抵抗率は、PVアプリケーションにおいて、シリコンウェハーに対する主要な品質管理パラメータです。

WLTモデル(WLT-1、WLT-3、WLT-5)のインライン膜厚&抵抗率測定システムでは、1~5ポイントの厚さと1ポイントの抵抗率を、全自動のウェハー製造ラインにおけるインライン品質管理の要件を満たす高スループットで測定できます。

WMTモデル(WMT-1、WMT-3)の膜厚&抵抗率測定システムでは、搬送用ベルトを止めることなくウェハーを測定(「On the Fly」測定)することが可能です。したがって、ウェハーの全自動製造ラインにおけるインライン品質管理の要件を満たす高スループットを実現します。

特徴とシステム仕様:

  • 測定法:容量式厚み&渦電流抵抗率
  • サンプルサイズ:125~156mm(210mmはオプション)
  • 上部/下部センサー間の距離:2mm(WLTには4mmのオプションあり)
  • 厚さ範囲:100~500µm
  • 抵抗率範囲:0.3~15Ωcm
  • ウェハーの垂直位置公差:<300μm
  • サンプル支持部:ベルト上
  • 校正:機械的ゲージと4探針プローブで確認されたウェハーに基づく

オプション:

  • 測定モジュール(1つ~5つのシート抵抗測定ヘッド付き)
  • 工業用PC(Windowsオペレーションシステム)と周辺装置
  • P/N導電型判定器
  • 温度センサー
  • ワープ&ボウ計算
  • ウェハー有無センサー(WMTのみ)

自動化とMES用に幅広いインターフェイスをご用意:

  • 光学的に絶縁された24V I/O、Ethernetインターフェイス
  • Profibus
  • OPC DA
  • TCP/IPプロトコル、コンテンツはXMLまたはASCIIに対応
  • SQLデータベース
  • SECS/GEM
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