膜厚&抵抗率測定

 

厚さは、シリコンPVウェハーの主要な管理パラメータです。厚さと形状が標準ではないウェハーを除外することで、ウェハー/セル破損による廃棄物を削減できます。

PVウェハーの厚さを測定する理由は次の2つです。

  1. 仕様に従うため。ウェハーの複数の点で厚さを測定することで、次のパラメータを計算できます。
    • 平均厚さ
    • 全厚さ変動(TTV)
    • 厚さ偏差
  2. 厚さ情報に基づき渦電流法を用いて抵抗率の値を取得し、サンプルのバルク抵抗率を報告するため。

 

膜厚&抵抗率測定

厚さ

WMT/WMLでは、ウェハー表面からの距離をキャパシタンスプローブで測定します。このため、結果は表面品質(反射率)に依存しません。

キャパシタンスは、プローブとサンプルとの距離に依存します。

C=Ɛ(A/d)

 dはプローブ-サンプル間の距離です。キャパシタンスの測定値から距離を計算でき、サンプルの両側からの距離で厚さの特定が可能になります。

抵抗率

抵抗率測定は非接触式の渦電流法に基づいています。

交流電流が導電性材料のごく近くにあるコイル内を流れます。コイルの磁界がサンプル内に循環電流(渦電流)を生じさせます。渦電流測定は、実際には、材料内の電気損失を測定し、これは抵抗率に依存します。センサー内の信号は、4PPで確認されたサンプルに基づいて校正されます。

 

 

 

装置は、ベルト方向に平行なラインスキャンを測定します。

  • ソーマークのラインスキャン×6(上部×3、下部×3)
  • 厚さのラインスキャン×3
  • 抵抗率のラインスキャン×1

 ラインスキャンの位置:

 

特徴

  • インラインPVアプリケーション用の非接触・非破壊測定
  • 全ウェハーを生産中に個別に測定可能
  • 4PPと異なり、磨耗部品なし
  • 粒子サイズに依存しない抵抗率測定
製品ラインナップ

WMT、WLT

WMT/WLTインライン装置は、結晶ウェハーの厚さとバルク抵抗率の測定を非接触、準備不要、高速で実現します。設計が堅牢で統合が容易であるため、仕様外のウェハーを除外するウェハーソーターアプリケーションに最適です。特別設計のキャパシタンスプローブにより、ベルト搬送の場合のような非接地のウェハーでも高い精度を実現します。また、独自設計の抵抗率センサーにより、粒子サイズの変動に左右されません。

動作モードと構成:

  • WLTは1つ~5つの厚さセンサー対と1つの抵抗率センサーを使ってStop and Goモードで動作
  • WMTはセンサー対と1つのライン抵抗率を使って1つ~3つのラインスキャンをOn the Flyモードで測定可能

WMT/WLT

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