ウェハー形状測定装置 TTR-300

TTR-300

この太陽電池ウェハー形状測定システムでは、厚さ、抵抗率、2面のソーマークをすべて測定できます。

特徴とシステム仕様:

  • 厚さ測定 - 6ラインの厚さ検出
  • 抵抗率測定 - 1ラインの抵抗率測定(非接触・渦電流式のセンサーでウェハーの中心線に沿って測定)
  • P/N判定 - 導電型(PまたはN)を非接触式のSPVセンサーでウェハーの中央の1ポイントで測定
  • ソーマーク - 6ラインのソーマーク検出
  • データをデータ収集PCに転送
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