ウェハー形状測定装置 TTR-300

この太陽電池ウェハー形状測定システムでは、厚さ、抵抗率、2面のソーマークをすべて測定できます。

特徴とシステム仕様：

• 厚さ測定 - 6ラインの厚さ検出
• 抵抗率測定 - 1ラインの抵抗率測定（非接触・渦電流式のセンサーでウェハーの中心線に沿って測定）
• P/N判定 - 導電型（PまたはN）を非接触式のSPVセンサーでウェハーの中央の1ポイントで測定
• ソーマーク - 6ラインのソーマーク検出
• データをデータ収集PCに転送