FAaST350は、デュアルFOUPタイプのインライン非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。
FAaST330/230は、4～12インチ対応の全自動非接触CV測定装置です。DSPVにより、金属汚染測定も可能です。
FAaST300-SLは、4～8インチ対応の2ポートタイプ非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。
FAaST 310/210は、マニュアルタイプの非接触CV測定装置です。50mm～300mmまでのウェハーの測定が可能です。
FAaST 350 DSPVは、デュアルFOUPタイプの全自動SPV装置です。非接触で、金属汚染を高精度で測定します。
FAaST 330/230 DSPVは、4～12インチウェハー対応の非接触金属汚染検査装置です。オプションの非接触CV測定ヘッドも搭載可能です。
FAaST 310/210 SPVは、マニュアルタイプの金属汚染検査装置です。オプションで、非接触CV測定ヘッドを搭載可能です。
