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inSE-1000は、in situでご使用頂ける分光エリプソメーターです。成膜装置などに組み込んでご使用いただけます。

IRSEは、赤外領域に対応した分光エリプソメーターです。FTIRによりエピ膜厚測定や赤外領域での光学特性（屈折率、消衰係数）の測定が可能です。

R2R SEは、ロールツーロール工程用の分光エリプソメーターです。単層膜から多層膜までの膜厚測定と光学特性（屈折率、消衰係数）の測定が可能です。

分光エリプソメーターは、薄膜の膜厚値、光学特性（屈折率、消衰係数）を高精度に測定します。絶縁膜、有機膜、金属膜などの単層膜や多層膜の測定が出来、また表面ラフネス層や界面層の評価も可能です。エリプソメトリーの測定原理が不明な方でも問題なくご使用頂けます。

SE-2100は、ラボ用装置であるSE-2000に安全カバーと高スピードサンプルステージを加えた研究開発用の分光エリプソメーターです。

SE-2000は、研究開発用途の分光エリプソメーターです。深紫外から近赤外領域の波長範囲で、単層膜から多層膜までの膜厚測定、光学定数（屈折率、消衰係数）を精度良く測定します。

μSE-2500は、300mmウェハ専用の全自動分光エリプソメーターです。パターン認識機能を有し、半導体製造プロセスで成膜管理にご使用いただいています。

SE-3000は、デュアルFOUPタイプの全自動分光エリプソメーターです。半導体製造プロセスで、成膜管理検査にご使用いただいています。

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