ライフタイム測定装置 PV-2000A

特徴とシステム仕様：

以下の機能を持つ新しい統合型プラットフォームです。

• SPV拡散長
  • 離散部位と、入りウェハー&処理済みウェハーと最終セルとのマッピング
  • 表面パッシベーションのUV/青色SPV率（任意単位）
  • モニタリング可能なパラメータ：
    • 拡散長（L）
    • 鉄汚染（Fe）
    • キャリアの再結合中心（NR）
    • LID欠陥汚染
• 非接触CVプロファイリング
  • リーク補正を用いた時間分解法
  • モニタリング可能なパラメータ：
    • フラットバンド電圧（V_fb）
    • 酸化物総電荷（Q_tot）
    • 界面トラップ電荷（Q_it）
    • 界面トラップ密度（D_it）
    • 誘電体キャパシタンス（C_D）と厚さ（CET）
    • 3～1000nmの平面フィルム&テクスチャフィルムの誘電漏洩とPID試験
• 加速LID試験
  • 温度段階（20～220℃）、照明ステーション×2（ハロゲン、フラッシュ）、ロボットによるハンドリング、鉄および/またはホウ素-酸素の活性化/非活性化
  • LID欠陥を数分で
  • ALIDがSPVで並べられ、FeとLIDの欠陥マッピングを短時間で実行
  • ウェハーと太陽電池に対応
• QSS-μPCD
  • 離散部位と、入りウェハー&処理済みウェハーのマッピング
  • PCDレーザー波長：904nm
  • モニタリング可能なパラメータ：
    • 減衰ライフタイム（τ _eff.d）
    • 定常状態でのライフタイム（τ _eff.ss）
    • 注入レベル（Δn）
    • 有効表面再結合（S_eff）
    • QSS光強度：0.005～30 Suns
    • エミッター飽和電流（J0）
    • Implied-Voc
• Light Beam Induced Current（LBIC）
  • 1～4本のレーザーを用いた太陽電池のマッピング
  • 測定パラメータ：電流、拡散長、反射率、内部量子効率（IQE）
  • 反射率測定とIQEマッピング

その他の試験機能：

• SPV表面ライフタイム
• RshuntとVocのSPVマッピング
• 非接触Suns-Voc
• ウェハー厚測定