SHR製品シリーズは、

次のような利点から、PVアプリケーションに最適です。

1）基板抵抗率を除去できる。

2）浮遊キャパシタンスの影響が少ない。

3）信号対ノイズ比が優れている。

4）校正が簡単。

WT製品シリーズは、

多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な測定プラットフォームです。

ベースシステムには、電源・コンピュータ・オペレーティングソフト・XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。

WT-2000は通常、マップを作成するために使用され、マップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。

各システムは、ユーザーの要件に応じて処理機能や測定機能を追加して構成されます。

世界で最も強力なPVメトロロジーシステムであり、比類できないほどのマッピング・精密さ・再現性・装置マッチングを実現します。