シート抵抗測定

シート抵抗測定(SHR)は、PN接合に適用できます。SHRは、ドーピング濃度とジャンクション深さに左右され、拡散プロセスの特性評価に適しています。

動作の原理は、n+pまたはp+n層構造の光励起と、それから生じる表面電位のキャパシタンスプローブによるピックアップに基づいています。検出電位は材料のシート抵抗で決定されます。

シート抵抗測定

測定理論:

サンプルが断続LED光で照射され、これによって基板層に電子と正孔が生成されます。生成された電荷キャリアがジャンクションに拡散し、ジャンクションにある電界がキャリアを分離します。分離の結果、ジャンクション電圧が変化します。この電圧変化は励起スポットから横方向に拡散し、拡散距離はシート抵抗の低下に応じて増加します。拡散JPV信号(VinとVout)は2つのキャパシタンス電極で測定されます。上昇した光チョッピング周波数の信号比Vin/Voutから、シート抵抗Rsを求めることができます。

4探針プローブによるデータ相関:

 

  

特徴

  • 太陽電池アプリケーション用の非接触・非破壊測定
  • サンプルの準備が不要
  • 被膜サンプル(リンガラス)に対応
  • 従来の4探針プローブに代わる手法
  • シャントの検出
製品ラインナップ

SHR、WT、PV

SHR製品シリーズは、次のような利点から、PVアプリケーションに最適です。1)基板抵抗率を除去できる。2)浮遊キャパシタンスの影響が少ない。3)信号対ノイズ比が優れている。4)校正が簡単。

WT製品シリーズは、多数の異なる半導体材料特性評価を実行できる強力な測定プラットフォームです。ベースシステムには、電源、コンピュータ、オペレーティングソフト、XY測定ステージなど、特性評価を実行するために必要な間接機能がすべて含まれています。
WT-2000は通常、マップを作成するために使用され、このマップ上でウェハーがプログラム可能なラスターでスキャンされます。各システムは、ユーザーの要件に応じて、処理機能や測定機能を追加して構成されます。

世界で最も強力なPVメトロロジーシステムであり、比類のないマッピング、精密さ、再現性、装置マッチングを実現します。

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