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非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ

非接触シート抵抗 Eddy current LEI-1510シリーズ

LEI-1510シリーズでは、2インチから最大 8インチまでの Si ウェーハ、化合物半導体（GaAs、GaN、InP等）epi ウエハを非接触・破壊にてシート抵抗が可能です。

自動ライフタイム測定装置WTシリーズ

自動ライフタイム測定装置WTシリーズ

WTシリーズは、全自動で少数キャリアのライフタイム測定を行う装置です。4～12インチまでのウェハーサイズに対応し、半導体製造プロセスでご使用頂けます。

ライフタイム測定装置 WT-2000 (μPCDキャリアライフタイム）

ライフタイム測定装置 WT-2000 (μPCDキャリアライフタイム）

WT-2000は、μ-PCD法による少数キャリアのライフタイム測定装置です。ウェハーの品質管理や研究開発用途にご使用頂けます。

全自動シート抵抗測定装置 RTシリーズ

全自動シート抵抗測定装置 RTシリーズ

RTシリーズは、全自動シート抵抗測定装置です。4探針プローブと非接触Eddyヘッドの搭載が可能です。

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