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WT-2000 / 2Aは、キャリアライフタイム測定装置です。300mmウェハサイズまで測定可能です。
FAaST 350 DSPVは、デュアルFOUPタイプの全自動SPV装置です。非接触で、金属汚染を高精度で測定します。
FAaST 330/230 DSPVは、4～12インチウェハー対応の非接触金属汚染検査装置です。オプションの非接触CV測定ヘッドも搭載可能です。
FAaST 310/210 SPVは、マニュアルタイプの金属汚染検査装置です。オプションで、非接触CV測定ヘッドを搭載可能です。
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日本セミラボ株式会社
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