特許技術「Parallel Dipole Line(PDL)」による強磁場・超高感度AC/DC測定。従来の限界を超える低移動度(およそ0.1 cm2/Vs)材料から、次世代デバイスを拓く「光誘起ホール効果(Photo-Hall)」まで完全カバーするR&D向けフラッグシップ。
主な特長
特許取得の「Parallel Dipole Line(PDL)」技術による圧倒的な高感度測定
PDL-1000は、革新的なParallel Dipole Lineシステムを採用した次世代のホール効果測定装置です。
回転する永久磁石対により、最大 2 T(pk-pk)の純粋かつ強力なAC磁場を生成。従来の測定器ではノイズに埋もれてしまっていた微小なホール信号を、ロックイン検出技術を用いて極めて高感度(およそ0.1 cm2/Vs)にキャッチします。
多数派・少数派キャリアを分離する最先端「Photo-Hall(光誘起)解析」
Nature誌(2019年)にも掲載された最先端の物理解析技術「Carrier-Resolved Photo-Hall」に対応。
光照射下のホール効果を詳細にスイープ解析することで、従来のホール測定では不可能だった「多数キャリア」と『少数キャリア」の移動度・キャリア濃度・ライフタイムおよび拡散長を個別に分離・定量化できます。
1台で電子材料の主要パラメータを一括自動評価
サンプルの「オーミック接触評価や」「シート抵抗I-V測定」の自動測定から、AC/DCホール測定による「キャリアタイプ(p型/n型)」「電荷キャリア密度」「移動度」まで、材料評価に必須となる電気的特性を括評価します。
広範な温度オプションと高い拡張性
室温でのマニュアル/セミオート測定はもちろん、液体窒素を用いた下での温度依存性測定オプションも豊富にラインナップ。
最先端の物性研究やプロセス最適化を強力にバックアップします。
アプリケーション
PDL-1000は、次世代化合物半導体、太陽電池材料、有機エレクトロニクス、ペロブスカイト、透明導電膜(TCO)など、新材料の創出と特性解析(R&D)においてなくてはならない機能を備えます。
主な対象市場・分野
- 最先端化合物半導体研究:
高速通信デバイス、パワー半導体(GaN、Ga2O3等)の基礎物性評価 - 次世代太陽電池&ペロブスカイト開発:
光吸収層のキャリア輸送メカニズム、キャリア寿命・拡散長の解析 - 有機エレクトロニクス・導電性高分子:
従来の装置では測定が極めて困難だった、低移動度(1㎠/Vs以下)有機材料の特性評価 - 透明導電薄膜(TCO)および酸化物半導体:
高濃度・低移動度酸化物薄膜のキャリアダイナミクス解析
測定・解析可能な主なパラメータ
- キャリアタイプ(p型/n型判別)
- シート抵抗 およびバルク抵抗率
- シートキャリア濃度およびバルクキャリア濃度
- ホール移動度
- 光誘起キャリア特性:多数派・少数派キャリアそれぞれの移動度、濃度、再結合寿命、拡散長(※Photo-Hallオプション時)
主な仕様
| 項目 | 仕様・技術パラメータ |
|---|---|
| 測定技術 | Parallel Dipole Line(PDL)方式 高感度AC/DCホール効果測定技術 |
| 磁場強度 | 最大 2 T (Peak-to-Peak / 永久磁石回転による変調一様磁場) |
| 移動度測定感度 | およそ0.1 ㎠/Vs |
| 測定項目 | 移動度、シート抵抗、キャリア濃度、キャリアタイプ、I-V特性 |
| 対応材料 | 半導体、III-V/II-VI化合物、ペロブスカイト、太陽電池、TCO、有機半導体等 |
| 拡張オプション | ・温度依存性測定オプション(極低温対応クライオスタット) ・Carrier-Resolved Photo-Hall(光誘起ホール解析)光源&ソフトウェア一式 |
| システム形態 | スタンドアロン型研究開発システム(R&D向け) |





