IRSE
IRSEでは、赤外領域（最大25μm）までの光学特性（屈折率、消衰係数）の測定が可能です。一般的なエリプソメーターは、UV/可視/近赤外波長域（250～850nm）層厚・屈折率・合金濃度の高精度メトロロジーに使用されていました。旧SOPRA社は、フーリエ変換型赤外分光エリプソメーター（IRSE）を研究開発向けに提示しました。赤外域はとても興味深い領域になります。なぜなら多くの場合、サンプル化学組成に関連する吸収限界を検出できるからです。また、領域では厚さ情報もUV～可視域と同様に干渉縞から求めることができるからです。さらに、赤外域では自由キャリア濃度が吸収係数に影響を与えるため、パラメータをDrudeモデルに用いてエピタキシャル（Epi）膜の膜厚測定を非破壊で行うことが可能になりました。
