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拡がり抵抗測定装置SRPは、世界標準キャリア濃度分布・ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙ測定装置です。SRP-2100は、自動測定タイプの装置です。

拡がり抵抗測定装置SRPは、世界標準キャリア濃度分布・ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙ測定装置です。SRP-170は、マニュアル測定タイプの装置です。

QCシリーズは、非接触でエピタキシャルウェハーの抵抗率を測定します。ＳＰＶ法によりウェハー上にパルス光を照射してウェハー表面電位変化を検出し、空乏層幅を測定します。強反転状態の空乏層幅が不純物濃度に比例することにより、不純物濃度測定を行い、抵抗率に換算（ASTM)します。

ACVシリーズは、非接触CV測定装置です。エピタキシャルの抵抗率、ドーピング濃度、表面電位変化、空乏層厚、プロファイル等の測定が可能です。

MCV-530は、マニュアルタイプの水銀CV測定装置です。50mm～300mmのウェハーサイズに対応しています。

MCV-2200/2500は、全自動の水銀CV測定装置です。3～12インチのウェハーの測定が可能です。

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