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FAaST350は、デュアルFOUPタイプのインライン非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。
FAaST330/230は、4～12インチ対応の全自動非接触CV測定装置です。DSPVにより、金属汚染測定も可能です。
FAaST300-SLは、4～8インチ対応の2ポートタイプ非接触CV測定装置です。DSPVにより金属汚染測定も可能です。
FAaST 310/210は、マニュアルタイプの非接触CV測定装置です。50mm～300mmまでのウェハーの測定が可能です。
日本セミラボ株式会社
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