PMR（Photo Modulated Reflectivity Measurement）は、アニール前のイオン注入のドーズ量モニターを可能とする技術です。
非接触・非破壊にてインプラ工程のインライン管理を可能とします。
PMRテクニックでは、波長の異なる2つのレーザー光源（励起レーザーとプローブレーザー）を使用しています。
変調された励起レーザーをイオン注入されたSiCに照射し、プローブレーザーにより反射波の変化を取得します。
これがPMR信号となり、イオン注入によるダメージとキャリア濃度の変化に対応します。
特徴：
- 非接触・非破壊測定
- アズインプラでSiCウェーハを測定可能
- Si代替では難しいイオン種の管理も可能
- ドーズ量、エネルギー量等の管理
- チャネリングの管理にも対応可能
主な測定・評価項目：
- SiCウェーハのインプラのドーズ量モニタリング
- 高ドーズ、低ドーズ、高エネルギー域に高感度。
