製品概要
μSE-3000は、小スポット測定に特化した自動分光エリプソメーターで、微細パターンや狭いBoxサイズ上の膜厚・光学定数評価に適したモデルです。 量産ウェハの300mm対応と高精度パターン認識機能により、先端デバイス計測に対応します。
主な特長
- 回転補償子型 分光エリプソメーター方式、8～12インチウェハ対応の自動ロードポート搭載。
- 小スポット（Box size 50 µm対応）での測定が可能（スポット径 50 µmまたは500 µm構成）。
- LDLS白色光源により、広い波長領域で高い光量と安定性を実現。
- Cognex Patmaxパターン認識により、最小Boxサイズ50 µmの微細パターン位置決めが可能。
- 量産ライン向け機能：ミニエンバイロメント、FOUP、SECS GEM、AGV/OHT対応（構成により）。
主な仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定波長範囲 | 最大 193nm ～ 1650 nm |
| スポットサイズ | 集光レンズにより 40 µm以下に集光可能 |
| 膜厚測定範囲 | 1 nm ～ 数十 µm（サンプルに依存） |
アプリケーション・オプション
- 微細パターン（TSVなど）の膜厚・形状評価、RCWA（MBD）との組み合わせによる3D構造解析。
- 分光反射率計、Bow/Warp／応力測定、Ramanオプションなど、SE-3000シリーズ共通のオプションを利用可能。
- 最新解析ソフトウェアSEAにより、豊富なnkデータベースと多彩な光学モデルを用いた高度なフィッティングが可能。
