LST-2100、LST-2500
LSTシリーズは、強力な微細結晶欠陥アナライザーです。劈開面近傍に入射された光はバルク微組欠陥（BMD）により散乱され、この散乱光がCCDカメラで記録されます。
特徴とシステム仕様：
- 高感度でサイズ15nmまでの欠陥を検出
- 密度は最大2.5×1010cm-3まで検出可能
- DZを1画像から評価可能
- ウェハー径に沿った濃度分布を数分で測定
- 画像サイズ：400μm×2000μm、測定時間55秒
- 深さ方向分解能：約0.5μm
- 最初のパーティクルは表面から5µm以内で検出
- 全自動の操作（1/2・1/4サイズウェハーのハンドリングなど）
- 劈開面の自動フォーカス
| LST-2100 | LST-2500 | |
|---|---|---|
| ウェハーのハンドリング | 手動 | 自動ローディング |
| アプリケーション領域 | 研究開発 | ウェハー製造工場 |
