レーザーエリプソメーター LE-103PV

LE-103PV

シリコン太陽電池用レーザーエリプソメーター

この画期的な小型装置は、テクスチャ化シリコン(単結晶&多結晶シリコン)基板上に生成された反射防止膜の厚さと光学定数の測定用に開発されました。多結晶構造のウェハー上に生成された薄膜に対して最大の信号を得られるように、入射角度(12~90°)を簡単に最適化できます。ピラミッド構造は、サンプルを定位置に保ちながら、正確な測定値が得られる方位にすることができます。

特徴とシステム仕様:

  • 反射防止膜の膜厚と光学定数(屈折率と消衰係数)の特定
  • 内蔵の光学系で安定性と自動校正を実現
  • Psi(0°~90°)とDelta(0°~360°)を測定する回転補償子により、感度の向上と、粗い界面が原因で生じる偏光解消度の計算が可能
  • マイクロスポットに集束できる光学系が信号収集を最適化
  • 156×156mmのセルサイズ専用のサンプルホルダー
  • インラインに導入することで、迅速なプロセス管理を実現
  • PVECS対応の高性能ソフトウェア
  • サンプルのアライメント:手動の傾斜&高さ調整用の最大信号の検出
  • 測定波長:632.8nm(He-Neレーザー)
  • サンプルステージ:156×156mm対応
  • ゴニオメーター:55°~90°の手動制御
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