ハードウェアの統合

SEM-SPMの複合システムを実現するために当社が用いたアプローチでは、真空対応のSPMを既存のSEMシステムに統合しました。

この組み合わせを採用したのは、システムの性能と使いやすさを最大限に高めるためです。

別の利点としては、既存のSEMシステムを複合SEM-SPMシステムにアップグレードできることが挙げられます。

どちらの場合も、SEMはその機能に制限されないため、複合SEM/SPM測定が可能です。

ソフトウェアの統合

SEM-AFMのような高度に複雑な科学的測定器の機能のグレードは、オペレーティングソフトウェア次第です。

異なる手法をシームレスに統合するには、単一のソフトウェアユーザーインターフェイスが必要です。

当社のSPM Software ScanTool™はオープン設計であるため、独自開発のSEMオペレーティングソフトウェアを統合できます。

この結果、オペレータは両システムを1つのプラットフォームから、

同じソフトウェアで制御でき、タブやウィンドウを延々とクリックする必要はありません。

両手法の設定と画像データをすべて表示するビューへは、障害なしにアクセスできます。

ソフトウェアは、ワークフローとスループットを最大化するよう設計されています。

さらに、DME Automatorなどのプログラム機能を通じてSEM-AFMシステムの全機能にアクセスできるため、

ユーザーは独自の高度な測定ルーチンを設計・実行できます。

したがって、サンプルの異なる部位から同等のデータを取得する自動実行測定ルーチンを作成できます。

SEMとSPMから提供された画像データは、ScanTool™ソフトウェアで分析されます。

標準の分析ツールを使用できるだけでなく、より高度または特別な分析手順を当社が独自に実装することや、

お客様からのご要望に応じて当社がDME AutomatorまたはDME Image Calculatorを使って実装することも可能です。

この技術、製品、アプリケーションの詳しい説明については、ここをクリックしてください。