TCOシート抵抗

薄膜のシート抵抗測定は、非接触・非破壊の渦電流法を用いて実現できます。

渦電流測定は、コイル内の交流電流の流れに基づいています。

発生した磁界がサンプル内に循環電流（渦電流）を生じさせ、実際に渦電流測定は材料内の電気損失を測定します。

内蔵距離センサー（キャパシタンス測定に基づく）により測定ヘッドがサンプル上を一定の高さで移動し、

その間、2つのセンサーが同じスポットを測定します。

測定される信号はサンプルのシート抵抗およびプローブとサンプル間の距離にも左右されるため、

シート抵抗の真値は距離値と渦電流信号から求めることができます。

渦電流は、導電性に優れた材料では、導電性が低い材料より高くなります。