シート抵抗測定
シート抵抗測定（SHR）は、PN接合に適用できます。
SHRは、ドーピング濃度とジャンクション深さに左右され、拡散プロセスの特性評価に適しています。
動作の原理は、n+pまたはp+n層構造の光励起と、
それから生じる表面電位のキャパシタンスプローブによるピックアップに基づいています。
検出電位は材料のシート抵抗で決定されます。
測定理論：
サンプルが断続LED光で照射され、これにより基板層に電子と正孔が生成されます。
生成された電荷キャリアがジャンクションに拡散し、ジャンクションにある電界がキャリアを分離します。
分離の結果、ジャンクション電圧が変化します。
この電圧変化は励起スポットから横方向に拡散し、拡散距離はシート抵抗の低下に応じて増加します。
拡散JPV信号（VinとVout）は2つのキャパシタンス電極で測定され、
上昇した光チョッピング周波数の信号比Vin/Voutから、シート抵抗Rsを求めることができます。
4探針プローブによるデータ相関：
特徴
- ・太陽電池アプリケーション用の非接触・非破壊測定
- ・サンプルの準備が不要
- ・被膜サンプル（リンガラス）に対応
- ・従来の4探針プローブに代わる手法
- ・シャントの検出
製品ラインナップ
エミッタ―シート抵抗測定装置 SHR-1000
非接触シート抵抗測定装置です。太陽電池（単結晶、多結晶、アモルファス、有機）の研究開発でご使用頂いています。渦電流法（Eddy Current）により非接触、非破壊でITO膜などの透明導電膜のシート抵抗を高精度で測定可能です。
