膜厚測定機能内蔵型FOUP

製品概要

M-FOUPは、FOUP内に計測機能を組み込んだ自立型薄膜測定装置であり、スタンドアロン型膜厚測定装置に対して高い生産性と柔軟性を提供します。
AMHS経由でファブ内を移動し、プロセス装置のメンテナンスや条件変更後の認定を効率的に実行することで、プロセス装置稼働率とファブ全体のスループット向上に貢献します。

主な特長

• プロセス装置の認定時間を短縮し、FABサイクルタイムを最小化。
• スタンドアロン計測装置に依存しない構成でプロセス装置稼働率を向上。
• スタンドアロン計測装置と比較して、設置面積を最小化しつつ低COOを実現。
• AMHSによりファブ内を移動できるモバイル計測ユニットとして、モニタリングウェーハの搬送時間・計測待ち時間を削減。
• 完全なSEMI規格準拠で、既存の自動搬送・FA環境への統合が可能。
• 特許取得済み技術に基づく、実質的な競合製品のないユニークなソリューション。

システム構成

• M-FOUPユニット：FOUP内に計測光学系を搭載した移動式計測ユニット。
• M-Server：データ処理およびファブとの通信を担う固定ユニット。
• M-Charger：M-FOUPを自動充電する固定式ドック。
• M-Station：保守・点検を行うメンテナンス拠点。

主な用途・測定対象

• 高度に自動化されたIDMファブ、先端IC製造ラインでのインライン薄膜計測。
• 酸化膜、窒化膜、ポリシリコン、フォトレジストなど一般的なプロセス薄膜の膜厚測定。
• モニタリングウェーハによる装置設定変更後、大規模メンテナンス後のプロセス再認定および限界プロセスの継続監視。