製品概要
AFM-2000とAFM-2100は、手動ロードの手軽な原子間力顕微鏡（AFM）で、半導体ウェーハやデバイスのナノスケール表面評価に最適です。
高解像度3Dプロファイリングにより、粗さ測定や欠陥レビューを研究・開発現場で効率化します。
主な特長
- 手動サンプルローディングで操作がシンプル
- 低ノイズプラットフォームとアクティブ防振機能(AFM-2000)により、高精度測定を実現
- 最大走査領域：50×50×5 μm（XYZ）
- 防音エンクロージャーとカメラシステムで安定した環境を提供
- Pythonスクリプティング対応でカスタム解析が可能
主な仕様
| モデル | AFM-2000 | AFM-2100 |
|---|---|---|
| ウェハサイズ | 4/6/8インチ | 6/8/12インチ |
| 動作範囲 | 200×250 mm | 350×350 mm |
| アクティブ防振台 | 内蔵 | オプション |
| オプション | 真空チャック、自動チップ交換 | 高度欠陥レビュー、自動チップ交換 |
アプリケーション
- 表面粗さ（RMS）測定：多様な素材のナノトポグラフィー評価
- 寸法測定、段差、高さ自動解析
- 追加モード：c-AFM（導電性）、KPFM（表面電位）、EFM（静電力）
