製品概要
AFM-2200とAFM-3000は、自動ロードポート搭載の自動化AFMで、ウェハーメーカー・デバイスメーカーの量産プロセス制御に適応します。
μPIT（微粒子検査）と組み合わせた欠陥レビューで、KLARFファイルからの高速3D欠陥解析を実現。
主な特長
- 自動サンプルローディング(Dual load port: Load ports)
- Mini-environment & acoustical enclosure : Mini-environmentが組み込まれておりクラス1(FED STD 209E)の内部環境を維持します
- Active vibration isolationを内蔵
- パターン認識(OP)・OHT対応(OP)に対応
- 高精度ステージ、モーター、および光学基準フィードバックシステムにより高精度測定が可能
- Profilometer Modeでウェハー全面スキャンが可能
- Tipの自動評価と自動交換機能を内蔵
主な仕様
| モデル | AFM-2200 | AFM-3000 |
|---|---|---|
| ウェハサイズ | 6/8インチ（全領域検出可） | 8/12インチ（全領域検出可） |
| ロードポート | シングル（SMIF/オープンカセット） | デュアル（FOUP/オープンカセット） |
| 動作範囲 | 350×350 mm | 350×350 mm |
| アクティブ防振 | オプション | 内蔵 |
| オプション | 高度欠陥レビュー、パターン認識、自動チップ交換 | OHTサポート、エッジグリップ、パターン認識、自動チップ交換 |
アプリケーション
- 自動欠陥レビュー：μPITで欠陥特定後、AFMで3D構造取得
- CMP プロセス コントロール
- Critical Dimension AFM
- Particle Inspection (自動欠陥レビューオプション)
- 解析モード：c-AFM、KPFM、sMIM（マイクロ波インピーダンス）
