LumIR-2300
化合物向けPL結晶欠陥検出LumIRは、フォトルミネッセンス技術と各種フィルターを使用して、化合物ウェハーの結晶欠陥を検出します。
ウェハー製造及びデバイス製造での受け入れ検査、品質管理に最適です。
構成
- Siをはじめ、InP、InGaAs、GaAsなどの化合物半導体材料に対応
- 3インチから6インチまでのサンプルに対応
- デュアルロードポートとオープンカセットの組み合わせ
- 最小5μm/ピクセルの解像度
オプション
- SECS/GEM通信機能
- イオナイザー
- 透明サンプル対応OCR
- 校正用サンプル
