金属被覆管理

セミラボでは、注入モニタリングと金属薄膜特性評価に関する主な特許の使用許可、技術、ノウハウをアプライドマテリアルズ社から譲り受けています。取得したIPでは、ジャンクション深さとドーズ量の測定や金属厚さ、製品ウェハー上の貫通電極と相互接続の抵抗の特定が可能なシステムをカバーしています。

テクノロジー

表面弾性波測定

表面波測定器は、光弾性法を用いてプロセスウェハー状に成膜される薄膜の厚さを高速かつ再現可能な方法で非破壊的に測定する金属薄膜メトロロジー検査システムです。

サンプル表面がレーザー光のパルスを受け、サンプル材料の特性周波数で振動します。この振動を、検査システム上の第2のレーザーが観察します。収集したデータが、測定対象のサンプル材料（ウェハーの積層フィルム中の特定の層）の既知の特性と比較されます。次に、測定の実行中に厚さなどのパラメータがシステムによって抽出・報告されます。生データと計算パラメータは保存もされるため、後で分析することが可能です。