単波長エリプソメトリー

太陽電池分野における基本的な測定の1つが、テクスチャ化Siウェハー上に形成された薄膜の単純な測定です。たとえば、テクスチャ化多結晶（ポリ）Siセル、テクスチャ化単結晶Siセル、テクスチャ化多結晶Siウェハー、テクスチャ化単結晶Siウェハー、反射防止薄膜（約80nmの窒化膜）などです。

この観察の対象は次のとおりです。

膜厚（T）
屈折率（n）
吸収率（k）

セミラボの太陽電池分野向けSE装置には、特別なチップ回転式サンプルホルダーが付属しています。この専用サンプルホルダー（156×156mm）には、信号取得を最適化する特別設計の機能が複数装備されており、よって結晶構造のウェハー上に生成された薄膜の測定品質も最適化されます。ピラミッド構造は、サンプルを定位置に保ちながら、正確な測定値が得られる方位にすることができます。エリプソメトリーデータは次の手順で分析できます。