セルの色測定

離散波長を有する色検査装置は、セルを視感色に基づいて3~5つのグループに分類して色が均一なモジュールを作成する、強力かつ高速なシステムです。概念としては、離散波長を用いて、セル全体に複数のラインスキャンを行います。この構成では、それぞれの波長を個別に調整して最適な性能を実現することができます。

最大6ヘッドを1つの156mmウェハー上に配置できます。

準備段階での単一WLヘッドによる反射率マップ:

準備段階での単一WLヘッドによる反射率マップ

 

色検査

テストサンプルの結果:

サンプル1

サンプル1

サンプル2

サンプル2

 

サンプル3

サンプル3

サンプル4

サンプル4

 

 

サンプル5

サンプル5

サンプル6

サンプル6

 

サンプル7

サンプル7

サンプル8

サンプル8

 

 

セミラボのテストサンプルの結果:

セミラボのテストサンプルの結果

均一性の低い1サンプルの結果:均一性の低い1サンプルの結果

特徴

  • 6ヘッドの同時測定
  • ヘッド数と位置を調整可能
  • 標準のインライン装置ホルダーに搭載可能
  • 内蔵の温度測定で安定性を向上
  • ディフューザとミラーで均一性と信号を向上
  • 内蔵ルーターにより配線数を削減
  • 高い冷却性能
製品ラインナップ

SCI

SCIインライン装置は、反射防止膜(ARC)成膜後のウェハーと太陽電池の色測定を非接触、準備不要、高速で実現します。堅牢な設計と簡単な統合により、色の異なるウェハーとセルの産業レベルの分類に最適であり、既存の生産ラインのアップグレードにも対応できます。6つの波長で反射されたフォトンが同時に捕獲され、対象範囲全体で反射の変化を高感度で捉えます(特に青色の範囲)。

SCIのモジュール式プラットフォームにより、6つまでの任意の数の測定ヘッドを簡単かつ柔軟に統合・配置できます。また、6つのセンサーを使用することで、総面積156mm×156mmのセルから情報を取得できます。

SCI測定装置は産業向けのOn the Flyアプリケーションであり、最新式の高速製造ラインのベルト速度と振動条件にも対応できます。

SCI

 

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