セルの色測定
離散波長を有する色検査装置は、セルを視感色に基づいて3～5つのグループに分類して色が均一なモジュールを作成する、強力かつ高速なシステムです。概念としては、離散波長を用いて、セル全体に複数のラインスキャンを行います。この構成では、それぞれの波長を個別に調整して最適な性能を実現することができます。
最大6ヘッドを1つの156mmウェハー上に配置できます。
準備段階での単一WLヘッドによる反射率マップ：
テストサンプルの結果：
サンプル1
サンプル2
サンプル3
サンプル4
サンプル5
サンプル6
サンプル7
サンプル8
セミラボのテストサンプルの結果：
均一性の低い1サンプルの結果：
特徴
- ・6ヘッドの同時測定
- ・ヘッド数と位置を調整可能
- ・標準のインライン装置ホルダーに搭載可能
- ・内蔵の温度測定で安定性を向上
- ・ディフューザとミラーで均一性と信号を向上
- ・内蔵ルーターにより配線数を削減
- ・高い冷却性能
製品ラインナップ
