製品概要
Raman-3000は、シリコン、SiGe、およびSOI基板のひずみ・応力・結晶品質をモニターするために設計された、高精度なインライン計測ソリューションです。
主なアプリケーション
- sSOI/ ,GeOI基板の評価： SmartCut™技術とヘテロエピタキシーによる応力制御の最適化。
- SiGeひずみ緩和バッファ（SRB）： Ge組成に応じた引張ひずみの精密測定。
- プロセスモニタリング： 熱応力、プロセス誘起の変化、格子不整合による応力のインライン監視。
- SiGe、SOI、またはGe層のひずみまたは応力のモニタリング
- 応力と結晶性の評価
- ひずみと応力の分布
- ひずみ制御
主な特長
| 項目 | 特長 |
|---|---|
| 高度なマッピング機能 | ウェーハ全面の応力分布を高速で検査可能。 |
| 評価の自動化 | リアルタイムデータ分析による工場自動化の実現 |
| 柔軟なモデル設計 | ユーザー定義への対応等。高度なレシピ作成表示と分析 | 自動化対応 | 300mm自動化ラインに対応。各種規格(SEMI等)に準拠。 |
