SOPRALABの製品一覧

  • 分光エリプソメーター SE-2000
    分光エリプソメーターSE-2000は、高精度測定かつ高速測定を実現した装置です。深紫外から近赤外領域までの広い波長領域を僅か数秒で測定して頂けます。 幅広い波長範囲と豊富なデータベースにより、様々なアプリケーションにおける膜厚値、光学特性(屈性率N、消衰係数K)の測定に貢献いたします。
  • 分光エリプソメーター GES5E
    新製品 分光エリプソメーター SE-2000 分光エリプソメーターのパイオニア 仏SOPRA社の技術を継承し、SEMILAB社として製品をご提供しています。 分光エリプソメータ業界屈指の実績があり、研究開発からインライン生産品質管理など様々な用途でご使用を頂いています。
  • 赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)
    赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。
  • ロールツーロール 分光エリプソメーター R2R
    ロールツーロール(Roll to Roll/ロールtoロール) 生産工程で、薄膜フィルムの膜厚と光学定数(屈折率、消衰係数)の測定・検査を行います。QCモニタリングにて多くの実績があります。
  • 真空紫外 分光エリプソメーター PUV-SE
    真空紫外分光エリプソメータPUV-SEは、窒素パージシステムにより真空紫外135nm-650nmの測定・検査が可能です。 フォトレジストやARCなどの次世代リソグラフティー材料開発に最適。 前分光システムによりサンプルに余計なダメージを与えず、フォトンカウントモードにより高精度な測定・検査が可能です。
  • 薄膜パネル検査装置 分光エリプソメーター SE-2100シリーズ
    分光エリプソメーターSE-2100シリーズは、有機ELや太陽電池、フラットパネルディスプレイの膜厚や光学特性の評価に最適。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 大型パネル検査装置 分光エリプソメーター FPT-6
    分光エリプソメーターFPT6は、液晶パネルディスプレイや有機ELの膜厚や光学特性の評価に最適です。自動高さ調整センサーにより、高速マッピング測定が可能です。
  • 製膜プロセス管理 分光エリプソメーター SE-2500
    分光エリプソメーターSE-2500は、製膜プロセス管理に最適なツールです。ウェハー面内の膜厚と屈折率を正確に測定します。リアルタイム・オートフォーカス機能により高速で再現性の良い測定が可能です。
  • 薄膜太陽電池パネル測定装置 PT-5
    薄膜太陽電池パネル測定装置PT-5は、分光エリプソメータなど太陽電池で必要な様々な測定のマッピング測定が可能です。
  • 簡易型エリプソメーター LE-100PV
    エリプソメーターLE-100PVは、太陽電池開発用途に適したコストパフォーマンスの高い装置です。
  • フォトルミネッセンス PLI-1001
    インライン・フォトルミネッセンスPLI-1001は、半導体プロセスのあらゆる工程でウェアの品質検査を非接触で高速に行います。 製造工程で、品質管理をフルにコントロールすることにより、歩留りの改善に貢献します。
  • 光学式ポロシメーター EP
    細孔率・細孔径分布測定装置 ※ 欧州産学連携機関 IMECの技術によりSOPRALABにて開発。     WORLDWIDEで多数実績があります。