イメージング分光反射率計

 

イメージング分光反射率計は、小さい領域(通常50×50µm~500×500µm)の高い空間分解能を調べるために使用されます。したがって、主な2つのアプリケーションは、ハーフトーンプロセス管理(1µmのチャネル幅までのフォトレジスト厚特性評価が可能)と印刷方式有機ELの厚さマップです。高輝度のXeランプを光源として使用し、高精度のモノクロメーターを用いることで、高速で正確な測定を実行できます。波長分解能は数ナノメートルまで調整可能であり、波長域は測定した層の厚さと光学特性に応じて選択できます。

 

広波長域の光源はモノクロメーターでフィルタリングされます。単色光がサンプルに到達し、2D画像が同時に取得されます。選択した各波長に対してこのプロセスが繰り返されます。この結果、一連の画像が提供され、各画像が所定の波長での結果を表します。これらの画像を使って、選択した各位置の反射スペクトルをソフトウェアが計算します。

イメージング分光エリプソメトリーには非常に精密な焦点合わせが必要ですが、これは、高速・精密な圧電モーターを利用した内蔵の焦点調整システムによって行われます。

イメージング分光反射率計は、分光反射率計およびエリプソメトリーと同じ分析エンジンを使用しています。したがって、異なる2つのメトロロジーで測定している場合でも、同じ光学モデルを同じ材料に対して使用できます。このため、正確な分光エリプソメトリー(OLEDサンプルなどに必要)に基づいた精密な光学モデルを使用できます。

特徴

  • 高速・正確な測定
  • 精密な焦点調整
アプリケーション

印刷方式有機ELサブピクセル特性評価

 

 

印刷方式有機ELは、低価格であり、手法が比較的簡単なため、有機層を含むデバイスの製造方法として非常に魅力的です。ただし、印刷層の均一性が、従来の方法で製造された層よりはるかに低くなるのが一般的です。

セミラボでは、1回の測定で1サブピクセル内のOLED構造の全層を数秒で特定できるメトロロジーを開発しました。横方向分解能は最高5µmであるため、印刷プロセスの精密な微調整が可能です。

 

製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。

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