分光反射率計

 

分光反射率計は、薄膜の特性評価に広く使用されています。この測定では、薄膜層の厚さと光学特性に関する情報が提供されます。スポットサイズを5µmまで小さくできるため、サブピクセルの内部を測定でき、この結果、測定用に別のテストパッドは必要ありません。

セミラボのSRメトロロジーでは、幅広い波長と高輝度のXeランプを使用しているため、お客様固有のプロセス要件に応じて測定の波長域を選ぶことができます。より厚い層に対しては、近赤外拡張機能を追加でき、数十マイクロメートルまでの測定が可能です。フォトレジストや他の敏感な層をUV光から保護するUVフィルターも追加できます。大きな光強度により、取得時間を数ミリ秒にまで短縮できます。また、レーザー光変位センサーと2Dカメラが内蔵されているため、高速な焦点合わせと正確な動きが可能です。

分光反射率計とエリプソメトリーはどちらも同じ分析エンジンを使用しています。したがって、異なる2つのメトロロジーで測定している場合でも、同じ光学モデルを同じ材料に対して使用できます。

有機層の厚さマップ

 

有機層で測定され適合された反射率曲線

 

特徴

  • スポットサイズを選択可能
  • 高速な取得時間
  • 簡単で分かりやすい光学モデリング
  • 同じ光学モデルを、エリプソメトリー、反射率測定装置、
  • イメージング分光反射率計に適用可能
  • 高い波長分解能
アプリケーション

フルトーン/ハーフトーン(フォトレジスト)

 

フォトレジスト厚を把握することは、ディスプレイ製造における複数の段階で非常に重要です。しかし、UVに敏感な厚い層や、非常に小型(1~2µm)のチャネルにおける測定では、これが困難になることがあります。セミラボは、このアプリケーション向けに特別に設計されたメトロロジーヘッドを用いて、この両方の問題を解決するソリューションをご提供できます。

製品ラインナップ

FPT

FPTシリーズは、フラットパネルの検査と特性評価に専用のシリーズです。この製品は、第10.5世代までのLCDパネルとAMOLED TFTパネルの特性を評価できるよう設計されています。複数の測定プローブを1台のプラットフォームに組み合わせることができ、正確・高速なモーター駆動ステージと可搬重量により、フラットパネルの全表面を高精度で測定できます。

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