薄膜膜厚・ヤング率測定装置 SW-3300

SW-3300

Semilab AMSのSW-3300では、独占的なSurfaceWave™技術を用いて薄膜金属・誘電体の厚さと均一性を測定します。銅・低k材料用に特別に開発されており、低コストながらも強力な製品です。ボトル型トレンチ、直線型トレンチ、誘電層の厚さと組成の測定に優れています。

 

特徴とシステム仕様:

  • 200/300mmまたは150/200mmの混合ウェハーに対応したメトロロジー
  • 堅牢な固体レーザー(寿命>1年)
  • 精密で再現可能なパターン測定
  • 市販の非接触システムの中で最小の所有コスト
  • 使いやすい
  • 信頼性に関する確かな実績
  • Semilab AMSが誇る品質と耐久性
  • SEMI S2/S8 & CE準拠、Fed 209Eクラス1ミニエンバイロメント(ISOクラス2)、300mm GEMオートメーション規格

次のデュアルロードポート構成が可能:

  • デュアルFOUP
  • デュアルSMIF
  • FOUP & SMIFブリッジ装置
  • オープンカセット

Semilab AMS SW3300A

2007年半ばに発表された拡張型のSW 3300Aには、SW 3300と同じ機能に加えて、多層測定機能も装備されています。

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