SW-3300
Semilab AMSのSW-3300独占的なSurfaceWave™技術を用いて薄膜金属・誘電体の厚さと均一性を測定します。銅・低k材料用に特別に開発され、低コストながらも強力な製品です。ボトル型トレンチ・直線型トレンチ・誘電層の厚さと組成の測定に優れています。
特徴とシステム仕様：
- 200/300mmまたは150/200mmの混合ウェハーに対応したメトロロジー
- 堅牢な固体レーザー（寿命＞1年）
- 精密で再現可能なパターン測定
- 市販の非接触システムの中で最小の所有コスト
- 使いやすい
- 信頼性に関する確かな実績
- Semilab AMSが誇る品質と耐久性
- SEMI S2/S8 & CE準拠、Fed 209Eクラス1ミニエンバイロメント（ISOクラス2）、300mm GEMオートメーション規格
次のデュアルロードポート構成が可能：
- デュアルFOUP
- デュアルSMIF
- FOUP & SMIFブリッジ装置
- オープンカセット
Semilab AMS SW3300A
2007年半ばに発表された拡張型のSW 3300Aには、
SW 3300と同じ機能に加えて、多層測定機能も装備されています。
