PLI-1001/A、PLI-1003/A
ウェハー&セル検査用フォトルミネッセンス装置ウェハーとセルの品質を、as-cutウェハーから完成セルまでのすべての加工段階において非破壊で測定でき、
高速かつ確実なインラインフォトルミネッセンス装置です。製造の全段階にわたって材料の品質を完全に管理できます。
高品質のウェハーから高効率のセルが作られ、製造のコスト効率が高まります。
特徴とシステム仕様：
- 全自動のインラインフォトルミネッセンスイメージング&検査
- 完成セル、処理済みウェハー、as-cutウェハーの反射側のフォトルミネッセンス
- On the Flyライフタイム校正
- 校正済みライフタイムマップとカスタム分類パラメータによる品質説明
- サンプルサイズ：PLI-1001/Aは最大156mm
PLI-1003/Aは最大162mm
検出できる欠陥の種類：
PLI-1001、PLI-1003
材料：
- 高転位濃度
- クラック
- 高汚染（コンタミネーション）濃度
- エッジ（コーナー）汚染
- 高空隙濃度（単結晶ウェハー用）
- 低ライフタイム
PLI-1001、PLI-1003
配線：
- シャント
- エッジアイソレーション欠陥
- 不良フィンガー
PLI-1001A、PLI-1003A
パッシベーション管理（両面がパッシベートされたサンプル）
- On the FlyのJo & iVocマッピング（オプション）
