フォトルミネッセンス装置 PLI-1001/A, PLI-1003/A

PLI-1001/A、PLI-1003/A

ウェハー&セル検査用フォトルミネッセンス装置

ウェハーとセルの品質を、as-cutウェハーから完成セルまでのすべての加工段階において非破壊で測定できる、高速かつ確実なインラインフォトルミネッセンス装置です。
製造の全段階にわたって材料の品質を完全に管理できます。
高品質のウェハーから高効率のセルが作られ、製造のコスト効率が高まります。

特徴とシステム仕様:

  • 全自動のインラインフォトルミネッセンスイメージング&検査
  • 完成セル、処理済みウェハー、as-cutウェハーの反射側のフォトルミネッセンス
  • On the Flyライフタイム校正
  • 校正済みライフタイムマップとカスタム分類パラメータによる品質説明
  • サンプルサイズ:PLI-1001/Aは最大156mm
    PLI-1003/Aは最大162mm

 

検出できる欠陥の種類:

PLI-1001、PLI-1003

材料:

  • 高転位濃度
  • クラック
  • 高汚染(コンタミネーション)濃度
  • エッジ(コーナー)汚染
  • 高空隙濃度(単結晶ウェハー用)
  • 低ライフタイム

PLI-1001、PLI-1003

配線:

  • シャント
  • エッジアイソレーション欠陥
  • 不良フィンガー

PLI-1001A、PLI-1003A

パッシベーション管理(両面がパッシベートされたサンプル)

  • On the FlyのJo & iVocマッピング(オプション)
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