レーザーエリプソメーター LE-5100

LE-5100

レーザーエリプソメーターと分光反射率計を組み合わせ、高精度X-Yステージを装備しています。単層と多層の厚さと光学特性(nとk)を測定します。測定は非破壊・非接触で行います。

特徴とシステム仕様:

  • ウェハーサイズ:チャック上に150/200/300/450mmの複数のサイズと形状のウェハーを載置可能
  • 距離センサー付属の自動フォーカスモジュール
  • 光源:キセノンランプ
  • 高分解能CCD検出器で高速スペクトログラフを実現
  • X-Y移動するサンプルステージ(用途は次のとおり):
    • マッピング
    • 複数ポイント測定
    • 単一ポイント測定
  • 自動Z移動による優れたフォーカス特性
  • 圧力制御装置で高圧・真空の供給を制御
  • SEMI勧告に基づくレシピベースの操作
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