FCV-3000
アドバンストインプラントメトロロジーシステム
FCV-3000アドバンストインプラントメトロロジーシステムは、ゲート酸化膜などの誘電体やソース/ドレインなどの極浅インプラントに関連する電気パラメータを高速に測定します。この方法は、広範囲のドーズ量に対して優れた感度を発揮します。
このシステムには、クラス1ミニエンバイロメントが含まれており、適用されるSEMI・CE規格を満たします。
FCVシステムは、小型弾性プローブを使い、誘電体表面に仮ゲートを形成します。内蔵のパターン認識システムがスクライブライン試験領域を検出します。
弾性プローブの直径は、誘電体特性評価用では30µm未満、表面抵抗率測定用では200µm超であり、誘電体表面にダメージを与えません。
弾性プローブの他に、1ピン測定用の硬質金属プローブと、2ピン測定用の硬質金属プローブペアもあり、より精密な位置決めが可能です。
特徴とシステム仕様：
- 水銀接触なし。ダメージと汚染を残さないプローブにより、ウェハーの再利用が可能に
- 簡単に習得・使用できるSAMユーザーインターフェイスがWindows 7環境で動作
- データ転送が簡単（工場のネットワークを介し、一般のネットワーキングソフトウェアを使用）
- 200を超える測定レシピをプロセス固有のニーズに応じて簡単に保存、管理、使用可能
- FCV-3000のデュアルロードポートからのローディング
- 1mmまでのエッジエクスクルージョンの測定
- デソーバーを内蔵、プログラム可能な事前処理によりウェハー表面が安定
- 200mmと300mmのウェハーの自動ハンドリング
- OHT
各システムは、さらに、ユーザーの要件に応じて、以下の測定機能や自動化機能を追加して構成されます。
測定機能：
- CV測定
- IV測定
- 勾配電流ストレステスト（RCST）
- 一定電流ストレステスト（CCST）
- 勾配電圧ストレステスト（RVST）
- 一定電圧ストレステスト（CVST）
- オフラインキャリアプロファイリング
プローブの移動、ウェハーの動き、カセットのローディング/アンローディング、ウェハーの事前処理は、ユーザーが定義・保存したレシピに応じて、内部コンピュータによって制御されます。データ分析は、包括的なCV分析パッケージによって行われます。これらすべてが、SEMI E95規格準拠の使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスで制御されます。基本システムには、フロントエンドモジュール（ウェハーステージ、ロボット、プリアライナーを装備）、システムコントローラ、電子キャビネット、空気圧制御装置、EMプローブシステムとオプションの1探針または2探針硬質プローブ（オンラインバックアップ付き）、CV計、包括的なソフトウェアスイート（システム制御ソフトウェア、レシピ&測定データベース、CV測定タイプのライブラリなど）が含まれています。
