エリプソメーター 測定サービス

測定サービスのご案内

 

この度、日本セミラボでは分光エリプソメータによる『測定サービス』を開始いたしました。

将来、エリプソメータのご購入を検討されているお客様向けの新サービスです。

お気軽にお問い合わせください。

 

<測定サービス内容>

 

  • 使用装置

   回転補償子型 分光エリプソメータSE-2000

       波長範囲:245nm – 2100nm

       ステージ : 300mm マッピングステージ

   入射角度 :可変

 

  • 対象サンプル

   サンプル      : Si, GaAs, GaN, InP, SiC基板や金属基板、Glass基板上の薄膜

         サンプルサイズ: 1インチ ~ 300mmφ

 

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