測定サービスのご案内
この度、日本セミラボでは分光エリプソメータによる『測定サービス』を開始いたしました。
将来、エリプソメータのご購入を検討されているお客様向けの新サービスです。
お気軽にお問い合わせください。
＜測定サービス内容＞
- 使用装置
回転補償子型 分光エリプソメータSE-2000
波長範囲：245nm – 2100nm
ステージ : 300mm マッピングステージ
入射角度 ：可変
- 対象サンプル
サンプル ： Si, GaAs, GaN, InP, SiC基板や金属基板、Glass基板上の薄膜
サンプルサイズ： 1インチ ～ 300mmφ
