測定サービスのご案内
この度、日本セミラボでは分光エリプソメータによる『測定サービス』を開始いたしました。
将来、エリプソメータのご購入を検討されているお客様向けの新サービスです。
お気軽にお問い合わせください。
<測定サービス内容>
- 使用装置
回転補償子型 分光エリプソメータSE-2000
波長範囲:245nm – 2100nm
ステージ : 300mm マッピングステージ
入射角度 :可変
- 対象サンプル
サンプル : Si, GaAs, GaN, InP, SiC基板や金属基板、Glass基板上の薄膜
サンプルサイズ: 1インチ ~ 300mmφ