非接触CV測定装置 CV-1500

CV-1500は、界面と誘電体の高度な測定（Semilab SDIの特許取得済みコロナ-ケルビン法に基づく）を低コストで利用できる、エントリーモデルのプラットフォームです。手動ローディングと単一ポイント測定の機能は、研究開発やラボ環境に適しています。このモデルの特徴は次のとおりです。

• 手動のサンプルローディング
• 直径15mm～300mmのサンプルの単一ポイントCV・IV測定。別のポイントへは、チャック上のサンプルを手動で移動可能（サンプル＜300mmの場合）
• ソフトウェアスイート：測定、レシピ記述、データ表示機能など
• 高度なデータ取得・分析機能：in-situコロナチャージモニタリング、特許取得済みのDitスペクトル特定、リーク補正されたCV曲線、EOT抽出用の独自CVシミュレータなど
• 適した測定対象：高k/低k誘電体フィルム（SiO₂、SiN_x、Al₂O₃、HfO₂、混合された誘電体、積層誘電体フィルムなど）を持つ半導体（Si、SiGe、InGaAs、SiC、GaNなど）
• 降圧変圧器により、柔軟な対応が可能
• 追加オプション：耐震用ブラケット