非接触CV測定装置 CV-1500

CV-1500

CV-1500は、界面と誘電体の高度な測定(Semilab SDIの特許取得済みコロナ-ケルビン法に基づく)を低コストで利用できる、エントリーモデルのプラットフォームです。手動ローディングと単一ポイント測定の機能は、研究開発やラボ環境に適しています。このモデルの特徴は次のとおりです。

  • 手動のサンプルローディング
  • 直径15mm~300mmのサンプルの単一ポイントCV・IV測定。別のポイントへは、チャック上のサンプルを手動で移動可能(サンプル<300mmの場合)
  • ソフトウェアスイート:測定、レシピ記述、データ表示機能など
  • 高度なデータ取得・分析機能:in-situコロナチャージモニタリング、特許取得済みのDitスペクトル特定、リーク補正されたCV曲線、EOT抽出用の独自CVシミュレータなど
  • 適した測定対象:高k/低k誘電体フィルム(SiO2、SiNx、Al2O3、HfO2、混合された誘電体、積層誘電体フィルムなど)を持つ半導体(Si、SiGe、InGaAs、SiC、GaNなど)
  • 降圧変圧器により、柔軟な対応が可能
  • 追加オプション:耐震用ブラケット
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