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誘電体と界面の電気特性評価
ICデバイスの性能と歩留を高めるには、誘電体と、その誘電体が半導体と形成する界面の電気特性を管理することが不可欠です。セミラボでは、重要な誘電層と、FEOLからBEOLまでの幅広いプロセスモジュールにわたるプロセスの電気特性を評価するメトロロジーソリューションをご提供しています。 セミラボの電気的なインライン・メトロロジー... ...
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非接触CV測定(FAaST)
SemilabSDIのFAaSTシステムは、半導体デバイス・材料の製造管理と開発で使用される最新式で非接触の電気メトロロジー装置です。この強力な測定手法では、非接触表面電位プローブ法を照射/非侵襲表面帯電と組み合わせて用いることで、半導体ウェハー、誘電体、界面の特性を示す幅広いパラメータを高精度で測定できる一方で、専用の検査試験装置を製作... ...
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汚染モニタリング
セミラボの非接触メトロロジー・ソリューションは、微細金属汚染(コンタミネーション)のインライン検出において半導体検査分野をリードしています。セミラボでは、高スループットのフォトルミネッセンスイメージング法(PLI)から、より確立されたライフタイムベースの手法であるサーフェイス・フォトボルテージ(SPV)やマイクロ波フォトコンダクタ... ...
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少数キャリア拡散長測定 (SPV)
SemilabSDIのFAaSTシステムは、半導体デバイス・ウェハーの製造プロセス管理と開発で使用される最新式で非接触の電気メトロロジー装置です。この強力な測定手法では、非接触表面電位プローブ法を照射/非侵襲表面帯電と組み合わせて用いることで、半導体ウェハー、誘電体、界面の特性を示す幅広いパラメータを高精度で測定ができ、また、専... ...
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非接触CV測定装置 Cn-CV 350 C-V / I-V
Cn-CV350CV/IV Cn-CV350CV/IVシステムは、特許取得済みのコロナ-ケルビン法に基づいてSemilabSDIの高度なCV/IV測定を行い、誘電体と界面の特性を非接触でイメージングします。この主力プラットフォームは、デュアルFOUPロードポートローディングステーションからの動ウェハーハンドリ... ...
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非接触CV測定装置 Cn-CV 330/230 C-V / I-V
Cn-CV330/230CV/IV Cn-CV330/230CV/IVシステムは、特許取得済みのコロナ-ケルビン法に基づいてSemilabSDIの高度なCV/IV測定を行い、モニターウェハー上の誘電体と界面の特性を非接触でイメージングします。これらのプラットフォームには、中量~大量生産環境に適した、自動ウェハ... ...
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非接触CV測定装置 Cn-CV 300-SL
Cn-CV300-SL Cn-CV300SLシステムは、最新式で非接触の電気メトロロジーシステムであり、SemilabSDIの特許取得済みのマイクロとマクロの両方のコロナ-ケルビン法を単一プラットフォームに統合しており、最先端研究開発や厳しい大量生産環境をサポートできます。 特徴とシステム仕様: ... ...
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非接触CV測定装置 Cn-CV 310/210 C-V / I-V
Cn-CV310/210CV/IV Cn-CV310/210CV/IVシステムは、特許取得済みのコロナ-ケルビン法に基づいてSemilabSDIの高度なCV/IV測定を行い、モニターウェハー上の誘電体と界面の特性を非接触でイメージングします。このプラットフォームは、研究開発や少量生産環境に適しています。 ... ...
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キャリアライフタイム測定装置 WT-2000 / 2A
WT-2000/2A WT-2000は、中規模の製造工場や研究所にお勧めのシステムです。 特徴とシステム仕様: ウェハーサイズ:ベア表面または誘電体被膜表面で最大300mm ウェハーのハンドリング:手動またはセミラボ製インデクサ ローディングオプション:100~200mmカセットインデクサ 13スロット式300mmカセ... ...
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SPV装置 FAaST 350 DSPV
FAaST350DSPV FAaST350DSPVシステムは、重金属汚染の非接触・高速モニタリングを行う、世界トップクラスの主力プラットフォームです。108atoms/cm-3以下のFe検出やデュアルFOUPロードポートローディングステーションの自動ウェハーハンドリングが可能であり、最も要件の厳しい大量生産環... ...
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SPV装置 FAaST 330/230 DSPV
FAaST330/230DSPV FAaST330/230DSPVシステムは、 重金属汚染の非接触・高速インラインモニタリングを行う世界トップクラスの装置であり、 108atoms/cm-3以下のFe検出や中量~大量生産に適した自動ウェハーハンドリングが可能です。 特徴とシステム仕様: ... ...
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SPV装置 FAaST 310/210 SPV
FAaST310/210SPV FAaST310/210SPVシステムは、高速なフルウェハー汚染イメージングを、研究開発や少量生産環境に適した設計で行います。 特徴とシステム仕様: 手動のウェハーローディング(カセットステーションと真空ピンセットを装備) 拡散長、鉄、他の再結合センター(Nr)の自動フルウェハー高速マッピ... ...