半導体      拡がり抵抗測定装置   SRP2100(全自動タイプ)

拡がり抵抗測定装置 SRP2100(全自動タイプ)

概要

拡がり抵抗測定装置SRP(Spreading Resistance Profiler)装置は,斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に2探針をコンタクト させそのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル,EPI層の厚み,PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定する装置です。

拡がり抵抗測定装置SRP2100はプローブのコンディショニング、ベベルアングルの測定、標準サンプルのデータ入力などが全自動化し、多数サンプルの連続自動測定が可能になりました。(サンプルは最大6個同時搭載可能です)

弊社拡がり抵抗測定装置SRPは、世界標準キャリア濃度分布・プロファイル測定装置です。
半導体マーケットでの多数の実績と豊富な経験により、デバイス開発に貢献しています。

抵抗測定装置SRP 特徴

・簡単なキーボード操作によるオペレーションのみで測定が可能となり、熟練作業が不要。
・全自動による複数サンプルの連続測定が可能なため、オペレータの拘束時間が大幅に短縮。
・CCDカメラ・ビジョンシステムにより2探針とサンプルとの位置合わせを自動化。
・探針のコンディショニングと較正曲線の入力を自動化。
・一度に6つの試料台がマウントでき、多数サンプルの連続測定が可能。
・BAM レーザーセンサーの採用により、角度補正が自動化しました

主な測定・評価項目

・比抵抗プロファイル
・Epi層厚み測定
・PN接合深さ測定
・キャリア濃度分布

測定原理イメージ

拡がり抵抗測定装置 SRP2100(全自動タイプ)

測定データイメージ

拡がり抵抗測定装置    SRP2100(全自動タイプ)
キャリア濃度 vs 深さ