半導体      拡がり抵抗測定装置   SRP170(マニュアルタイプ)

拡がり抵抗測定装置 SRP170(マニュアルタイプ)

概要

拡がり抵抗測定装置SRP(Spreading Resistance Profiler)装置は,斜め研磨したSiウェハーを深さ方向に2探針をコンタクト させそのプローブ間の拡がり抵抗値からSiの深さ方向の比抵抗プロファイル,EPI層の厚み,PN接合の深さおよびキャリヤ濃度分布を測定する装置です。

弊社の拡がり抵抗測定装置SRPは、世界標準キャリア濃度分布・プロファイル測定装置です。
半導体マーケットでの多数の実績と豊富な経験により、デバイス開発に貢献しています。

主な測定・評価項目

・比抵抗プロファイル
・Epi層厚み測定
・PN接合深さ測定
・キャリア濃度分布

測定原理イメージ

拡がり抵抗測定装置 SRP170(マニュアルタイプ)

測定データイメージ

拡がり抵抗測定装置 SRP170(マニュアルタイプ)
キャリア濃度 vs 深さ