薄膜測定      赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)

赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)

概要

赤外分光エリプソメーターにより、厚膜測定や様々な物質構造の解析を非接触・非破壊で行います。お客様のご希望やアプリケーションに合わせて、最適な測定波長範囲の装置をご提案させて頂きます。

【赤外分光エリプソメーター 仕様】
-FTIR機能
-最大測定波長範囲: 0.19μm - 25μm
-自動入射角度設定

赤外分光エリプソメトリー アプリケーション

-絶縁膜&物質構造
 BPSG, PSG, Low-k, SiN, SiON, High-k, SiC
-ドープ濃度&エピ膜
 Si, SiGe, SOI, Ultra Shallow Junctions
-トレンチ&フォトニクス結晶
 DRAM, DTI, STI, 2Dフォトニクス結晶
-フラットパネル・ディスプレイ
 ITO, アモルファスシリコン
-コンタミネーション
 Water, OH, Surface contamination
-その他
 ガラス、ポリマー、バイオなど

オプション類

-自動マッピングステージ
-自動高さ&煽り調整機能
-CCD可視化カメラ
-クライオスタット

赤外分光エリプソメーター 測定結果

赤外分光エリプソメーター IRSE (フーリエ変換型)