半導体      製膜プロセス管理 分光エリプソメーター SE-2500

製膜プロセス管理 分光エリプソメーター SE-2500

概要

分光エリプソメーターSE-2500は、製膜プロセス管理に最適なツールです。ウェハー面内の膜厚と屈折率を正確に測定します。リアルタイム・オートフォーカス機能により高速で再現性の良い測定が可能です。

特徴

- 測定波長範囲:193nm - 2000nm以上
- ウェハー自動搬送機能(4 - 12インチ対応)
- 自動測定、自動解析
- 自動高速アライメント機能
- 多種のサンプル基盤に対応
 ( Sapphire, Silicon, quartz, SiCなど)
- パターン認識
- マイクロスポット
- FOUP
- SMIF
- オープンカセット
- Mini environment対応